[태그:] EUV 스톡캐스틱

ASML EUV 공정의 스톡캐스틱 변동성을 DTCO로 낮추는 방법을 정리했습니다. OPC/ILT, SMO, 레지스트·펠리클 선택, 계측·피드백 루프로 수율과 안정성을 높이세요.