[태그:] 콜렉터 미러 클리닝

ASML EUV 가동률을 높이는 운영 전략을 정리했습니다. 소스 파워 안정화, 콜렉터 미러 클리닝, 오염 관리, 캘리브레이션·예지보전으로 다운타임을 최소화하세요.